[发明专利]一种用于外延生长的尾气颗粒物脱除处理装置及方法有效
| 申请号： | 202210083930.2 | 申请日： | 2022-01-25 |
| 公开（公告）号： | CN114405202B | 公开（公告）日： | 2022-12-06 |
| 发明（设计）人： | 蒋彪;朱佰喜;薛抗美;邹明舊;蒋旭霞 | 申请（专利权）人： | 东莞市志橙半导体材料有限公司 |
| 主分类号： | B01D50/20 | 分类号： | B01D50/20;B01D45/16;B01D45/18;B01J8/02;B01J19/14 |
| 代理公司： | 深圳汉林汇融知识产权代理事务所(普通合伙) 44850 | 代理人： | 刘临利 |
| 地址： | 523000 广东省东*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种用于外延生长的尾气颗粒物脱除处理装置及方法，该处理装置包括：旋风分离器；旋风分离器的侧壁开设有进气口，顶部开设有出气口，底部开设有排灰口；进气口通过第一管道与反应炉的尾气出口连接，出气口通过第二管道与真空泵尾气进口连接；旋风分离器的内部横向固定连接有除尘风筒，除尘风筒位于进气口的上方，除尘风筒的底部开设有通孔，除尘风筒的侧壁上开设有若干出风孔；旋风分离器的内部固定连接有初滤网，初滤网位于所述除尘风筒的正上方。在本发明中，大部分的颗粒物会在旋风分离当中被除尘风筒截留下来，落入积灰仓达到分离效果，微小颗粒物则在初滤网当中被拦截，以此确保过滤效果，过滤装置不易堵塞，减少维护频次。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 用于 外延 生长 尾气 颗粒 脱除 处理 装置 方法 | ||
【主权项】：
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