[发明专利]基板制备方法及显示面板在审
申请号: | 202210084370.2 | 申请日: | 2022-01-24 |
公开(公告)号: | CN116520643A | 公开(公告)日: | 2023-08-01 |
发明(设计)人: | 张宇 | 申请(专利权)人: | 成都辰显光电有限公司 |
主分类号: | G03F7/20 | 分类号: | G03F7/20 |
代理公司: | 北京东方亿思知识产权代理有限责任公司 11258 | 代理人: | 尹红敏 |
地址: | 611731 四*** | 国省代码: | 四川;51 |
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摘要: | 本发明公开了一种基板制备方法及显示面板,基板制备方法包括:提供待加工基板,待加工基板具有相对的第一表面和第二表面,第一表面形成有对位标记部;翻转待加工基板,以使第一表面和第二表面互换位置;在待加工基板的第二表面上涂覆光刻胶;将待加工基板固定于固定板,第一表面和固定板相对设置,且固定板和待加工基板的厚度之间的差值小于或者等于预设值;将曝光部和对位标记部进行对位,并通过曝光部对待加工基板的第二表面进行曝光。通过将固定板的厚度设置为和待加工基板的厚度之间的差值小于或者等于预设值,以保证固定板对于对位标记部的抬高高度能够使曝光聚焦定位,工艺简单易操作,有效提高了基板的生产效率。 | ||
搜索关键词: | 制备 方法 显示 面板 | ||
【主权项】:
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