[发明专利]一种连续式AMOLED金属掩膜板自动智能清洗工艺在审

专利信息
申请号: 202210086132.5 申请日: 2022-01-25
公开(公告)号: CN114457343A 公开(公告)日: 2022-05-10
发明(设计)人: 张庆明 申请(专利权)人: 全洋(黄石)材料科技有限公司
主分类号: C23G1/24 分类号: C23G1/24;C23C14/04;C23C14/24;C23C14/16;C23C14/12
代理公司: 北京精翰专利代理有限公司 11921 代理人: 张丹
地址: 435000 湖北省黄*** 国省代码: 湖北;42
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摘要: 发明公开了一种连续式AMOLED金属掩膜板自动智能清洗工艺,具体涉及AMOLED金属掩膜板技术领域,本发明通过将不同种类的药液分别注入金属掩膜板加工机器内部,同步对两片金属蒸镀膜层或两片有机蒸镀膜层或者一片金属蒸镀膜层和一片有机蒸镀膜层进行同步处理,该清洗工艺可依照产品的种类进行槽体药液调配,并可随时保持2片连续式生产,大幅减少人力、设备及生产时间,以达到真正量产的目的,且通过多道漂洗,并搭配超声波,可增加产品表面清洁度,同时不同蒸镀膜层可同时进行清洗,不会有交叉污染风险,在金属掩膜板翻转角度为30°时,滴落的药液以及漂洗液难以溅起水花,从而对药液以及漂洗液的使用效率以及工作人员的安全起到了保障的效果。
搜索关键词: 一种 连续 amoled 金属 掩膜板 自动 智能 清洗 工艺
【主权项】:
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