[发明专利]一种具有冷却功能的抛光装置有效
| 申请号： | 202210099458.1 | 申请日： | 2022-01-27 |
| 公开（公告）号： | CN114473848B | 公开（公告）日： | 2023-06-20 |
| 发明（设计）人： | 周博伦;刘福强;李伟;史霄 | 申请（专利权）人： | 北京晶亦精微科技股份有限公司 |
| 主分类号： | B24B37/10 | 分类号： | B24B37/10;B24B37/12;B24B37/34;B24B55/02;B24B41/04;B24B49/00 |
| 代理公司： | 北京三聚阳光知识产权代理有限公司 11250 | 代理人： | 王月 |
| 地址： | 100176 北京市大兴区*** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本发明提供的一种具有冷却功能的抛光装置，包括：抛光盘具有上下贴合连接的第一盘体和第二盘体，第二盘体上开设有用于传感器穿过的避让孔；旋转轴连接在第二盘体上，用于驱动抛光盘旋转；冷却回路呈螺旋状盘布在第一盘体与第二盘体之间,冷却回路中适于流通冷却液；冷却回路的进/回液口均连通有软管，该软管穿过旋转轴的穿轴孔后、适于与冷却液箱连通；冷却回路对避让孔进行绕包，冷却液先流经绕包在避让孔周向的冷却回路；驱动组件至少部分设于旋转轴上，用于驱动旋转轴转动。本发明的冷却回路能够对抛光盘进行循环冷却，降低因热影响抛光液的化学反应；避让孔被冷却回路绕包，能够对传感器进行充分冷却，减小因安装传感器导致的散热不均问题。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 具有 冷却 功能 抛光 装置 | ||
【主权项】：
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