[发明专利]传感器芯片、力传感器装置在审
| 申请号： | 202210112912.2 | 申请日： | 2022-01-29 |
| 公开（公告）号： | CN115077772A | 公开（公告）日： | 2022-09-20 |
| 发明（设计）人： | 山口真也 | 申请（专利权）人： | 美蓓亚三美株式会社 |
| 主分类号： | G01L5/1627 | 分类号： | G01L5/1627 |
| 代理公司： | 北京银龙知识产权代理有限公司 11243 | 代理人： | 曾贤伟;李平 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 本发明提供一种传感器芯片、力传感器装置，提高了针对于各个方向的位移的梁的耐破坏性。该传感器芯片具有多个探测块，各个上述探测块具备一组以上的配置有形变检测元件的T字型梁结构，上述T字型梁结构包括第一探测用梁和从上述第一探测用梁沿与上述第一探测用梁正交的方向延伸且与力点连接的第二探测用梁，上述第一探测用梁比上述第二探测用梁长，基于与施加到上述力点的输入相应的上述形变检测元件的输出的变化，对预定的轴向的力或力矩进行多轴探测。 | ||
| 搜索关键词： | 传感器 芯片 装置 | ||
【主权项】：
暂无信息
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