[发明专利]光敏组合物及制造的光致抗蚀剂干膜在审
| 申请号： | 202210121584.2 | 申请日： | 2022-02-09 |
| 公开（公告）号： | CN114911132A | 公开（公告）日： | 2022-08-16 |
| 发明（设计）人： | 蔡宗翰;林立彥 | 申请（专利权）人： | 杜邦电子公司 |
| 主分类号： | G03F7/033 | 分类号： | G03F7/033;H05K3/06 |
| 代理公司： | 上海专利商标事务所有限公司 31100 | 代理人： | 陈哲锋;葛臻翼 |
| 地址： | 美国特*** | 国省代码： | 暂无信息 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本发明提供了光敏组合物，这些光敏组合物包含：(a)新颖的聚合物粘合剂；(b)可聚合化合物；(c)光引发剂；以及(d)光敏剂。这些光敏组合物具有改善的显影和/或剥离性能以及可比较的附着和分辨率。 | ||
| 搜索关键词： | 光敏 组合 制造 光致抗蚀剂干膜 | ||
【主权项】：
暂无信息
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于杜邦电子公司，未经杜邦电子公司许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/202210121584.2/，转载请声明来源钻瓜专利网。
