[发明专利]一种多坩埚分段真空镀膜室在审
| 申请号： | 202210153513.0 | 申请日： | 2022-02-18 |
| 公开（公告）号： | CN114481044A | 公开（公告）日： | 2022-05-13 |
| 发明（设计）人： | 曹蔚琦;金湛;骆中涛;秦琴;冯欢 | 申请（专利权）人： | 重庆诺奖二维材料研究院有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/30 | 分类号： | C23C14/30 |
| 代理公司： | 广州市华学知识产权代理有限公司 44245 | 代理人： | 黄宗波 |
| 地址： | 400700 重*** | 国省代码： | 重庆;50 |
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| 摘要： | 本发明属于镀膜设备技术领域，具体涉及一种多坩埚分段真空镀膜室，包括真空箱体，所述真空箱体内安装有电机和用于加热待镀材料的电子枪，所述真空箱体前端设有观察机构，所述真空箱体内还转动安装有转动盘，所述电机的输出端与转动盘传动连接，所述转动盘上安装有多个坩埚。其目的是：通过多个坩埚对不同的待镀材料进行承接，并由电机对安装有坩埚的转动盘进行旋转，可避免在分段镀膜时，只能通过打开镀膜室，对坩埚内被加热的待镀材料进行更换的方式进行，破坏了镀膜室的真空度，若要继续镀膜，只能重新对镀膜室进行真空抽取，使用不便的问题。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 坩埚 分段 真空镀膜 | ||
【主权项】：
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