[发明专利]压印方法、压印光刻系统及物品制造方法在审
| 申请号： | 202210171656.4 | 申请日： | 2022-02-24 |
| 公开（公告）号： | CN114967320A | 公开（公告）日： | 2022-08-30 |
| 发明（设计）人： | 娄明吉;吉田贵裕;史蒂文·T·詹金斯;小林谦一;荒川达哉 | 申请（专利权）人： | 佳能株式会社 |
| 主分类号： | G03F7/00 | 分类号： | G03F7/00 |
| 代理公司： | 北京怡丰知识产权代理有限公司 11293 | 代理人： | 迟军;齐文文 |
| 地址： | 日本东京都*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 本发明涉及压印方法、压印光刻系统及物品制造方法。本公开提供对被支撑在可移动载台上的基板进行压印的方法和系统，所述方法和系统包括：将所述基板上的液体抗蚀剂与模板接触；以及利用第一组控制参数，使用反馈‑前馈控制处理将所述基板与所述模板对准。获得校准数据，并且增大所述抗蚀剂的至少一部分的粘度。在增大所述抗蚀剂的粘度之后，利用第二组控制参数，使用所述反馈‑前馈控制处理将所述基板与所述模板对准，基于所述校准数据确定所述第二组控制参数，并且固化所述模板下方的所述抗蚀剂。 | ||
| 搜索关键词： | 压印 方法 光刻 系统 物品 制造 | ||
【主权项】：
暂无信息
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