[发明专利]一种光刻胶固化装置有效
| 申请号： | 202210188346.3 | 申请日： | 2022-02-28 |
| 公开（公告）号： | CN114643180B | 公开（公告）日： | 2023-04-07 |
| 发明（设计）人： | 丁晓春;柳坤;李宗怿 | 申请（专利权）人： | 长电集成电路（绍兴）有限公司 |
| 主分类号： | B05D3/02 | 分类号： | B05D3/02;H01L21/67 |
| 代理公司： | 重庆中之信知识产权代理事务所(普通合伙) 50213 | 代理人： | 邓锋 |
| 地址： | 312000 *** | 国省代码： | 浙江;33 |
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| 摘要： | 本发明提供一种光刻胶固化装置，包括固化炉以及用于承载涂覆的光刻胶层并转移到固化炉中的载板，设置在固化炉内并与固化炉相对静止的磁力装置；载板包括基板及固定在基板上的磁性板；磁力装置用于对放置到固化炉内的磁性板提供与重力方向相反的非接触式作用力。在固化炉内设置磁力装置，采用带有磁性板的载板，当载板承载着光刻胶层转移到固化炉中后，磁力装置能够对磁性板提供与重力方向相反的非接触式作用力，避免基板的中心区域因重力原因而出现凹陷，从而解决光刻胶层的凹陷问题，将光刻胶层的平整度控制在满足需求的范围内，保障后续的光刻和电镀工艺；此外，由于是非接触式作用力，因此载板下方留有一定空间供机械传送手进行操作。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 光刻 固化 装置 | ||
【主权项】：
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