[发明专利]一种用于晶圆贴膜中多种膜兼容的贴膜装置

摘要

本发明公开了一种用于晶圆贴膜中多种膜兼容的贴膜装置，包括外壳，外壳的内部安装有绕膜机构，绕膜机构包括安装在外壳侧壁上的新膜固定轴，新膜固定轴的一侧下方安装有第一滚轮，第一滚轮的下方一侧安装有第二滚轮，第二滚轮的下方一侧安装有第五滚轮，第五滚轮的一侧安装有第六滚轮，第五滚轮的另一侧安装有第七滚轮，第七滚轮的一侧安装有第八滚轮。该用于晶圆贴膜中多种膜兼容的贴膜装置中，通过多组滚轮的设计，可以兼容多种膜的贴膜装置，本装置既可以使用普通兰膜，也可以使用UV膜，还可以使用预切割膜和DAF膜，使一条生产线只需要1台贴膜装置就可以完成不同产品使用不同切割膜的切换，同时简化了换膜的方式，节省了换膜的时间。