[发明专利]内连线结构及其制造方法在审
| 申请号： | 202210230338.0 | 申请日： | 2022-03-10 |
| 公开（公告）号： | CN115084065A | 公开（公告）日： | 2022-09-20 |
| 发明（设计）人： | 卢超群 | 申请（专利权）人： | 发明与合作实验室有限公司 |
| 主分类号： | H01L23/48 | 分类号： | H01L23/48;H01L23/485;H01L21/768 |
| 代理公司： | 上海专利商标事务所有限公司 31100 | 代理人： | 郭蔚 |
| 地址： | 新加坡*** | 国省代码： | 暂无信息 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 一种内连线结构，包括第一介电层、第一导电层、导体柱、上方介电层和上方导电层。第一介电层位于元件的第一端上方。第一导电层位于第一介电层上方。导体柱连接至第一端。上方介电层位于第一导电层上方。上方导电层位于上方介电层上方。导体柱连接到上方导电层但与第一导电层断开。 | ||
| 搜索关键词： | 连线 结构 及其 制造 方法 | ||
【主权项】：
暂无信息
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于发明与合作实验室有限公司，未经发明与合作实验室有限公司许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/202210230338.0/，转载请声明来源钻瓜专利网。
- 上一篇：低摩擦高性能轮毂总成
- 下一篇：用于机动车辆的充电翻盖组件
