[发明专利]辅助WAT生产监控的方法及装置在审
| 申请号： | 202210235438.2 | 申请日： | 2022-03-11 |
| 公开（公告）号： | CN114609500A | 公开（公告）日： | 2022-06-10 |
| 发明（设计）人： | 余燕萍;刑阳阳 | 申请（专利权）人： | 上海华力集成电路制造有限公司 |
| 主分类号： | G01R31/26 | 分类号： | G01R31/26;G01R31/28 |
| 代理公司： | 上海浦一知识产权代理有限公司 31211 | 代理人： | 刘昌荣 |
| 地址： | 201203*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 本发明提供一种辅助WAT生产监控的方法，持续获取多个WAT机台的测试信息、机台状态以及置于WAT机台中晶圆的lot信息；将多个WAT机台的测试信息、机台状态以及置于WAT机台中的lot信息整合至显示界面，显示界面用于显示每个WAT机台对应的测试信息、机台状态以及lot信息；根据显示界面筛选出符合设置条件的WAT机台中的lot信息。本发明的方法可监控WAT机台测试lot状态，帮助判断待测lot测试顺序，提高了监控效率。 | ||
| 搜索关键词： | 辅助 wat 生产 监控 方法 装置 | ||
【主权项】：
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