[发明专利]互锁条件检测方法和半导体工艺设备在审
| 申请号： | 202210257421.7 | 申请日： | 2022-03-16 |
| 公开（公告）号： | CN114675606A | 公开（公告）日： | 2022-06-28 |
| 发明（设计）人： | 任娇 | 申请（专利权）人： | 西安北方华创微电子装备有限公司;北京北方华创微电子装备有限公司 |
| 主分类号： | G05B19/418 | 分类号： | G05B19/418 |
| 代理公司： | 北京润泽恒知识产权代理有限公司 11319 | 代理人： | 苏培华 |
| 地址： | 710000 陕西省西安市高新*** | 国省代码： | 陕西;61 |
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| 摘要： | 本发明实施例提供了一种互锁条件检测方法和半导体工艺设备，应用于半导体装备技术领域，该方法包括：在互锁条件的检测过程中，响应于半导体工艺设备的动作器件的启动信号，获取动作器件的多个互锁列表，每个互锁列表分别包括一个类别的互锁条件，以及互锁条件的目标条件值，在互锁条件的目标条件值与获取到的实际条件值不匹配的情况下，按互锁条件所属的类别，存储互锁条件的错误信息。动作器件的多个互锁条件划分为多个类别，根据互锁条件的类别存储互锁条件的错误信息时，在故障排查阶段，可以缩小故障排查范围，快速确定故障点，可以提高故障排查效率。 | ||
| 搜索关键词： | 互锁 条件 检测 方法 半导体 工艺设备 | ||
【主权项】：
暂无信息
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