[发明专利]一种薄膜晶体管及其制备方法、显示面板、显示装置在审
| 申请号： | 202210259414.0 | 申请日： | 2022-03-16 |
| 公开（公告）号： | CN114613855A | 公开（公告）日： | 2022-06-10 |
| 发明（设计）人： | 赵坤;宁策;李正亮;胡合合;姚念琦;黄杰;贺家煜;李菲菲 | 申请（专利权）人： | 京东方科技集团股份有限公司 |
| 主分类号： | H01L29/49 | 分类号： | H01L29/49;H01L29/423;H01L29/786;H01L21/336;H01L27/12 |
| 代理公司： | 北京柏杉松知识产权代理事务所(普通合伙) 11413 | 代理人： | 刘继富;王春伟 |
| 地址： | 100015 *** | 国省代码： | 北京;11 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本申请提供了一种薄膜晶体管及其制备方法、显示面板、显示装置，薄膜晶体管包括有源层、源极、漏极和栅极，栅极包括层叠设置的铝合金层和辅助层，辅助层的材料选自TiN或Ti，辅助层的厚度为10nm‑60nm。本申请提供薄膜晶体管，具有低电阻且无hillock问题的栅极，从而有利于提高显示面板和显示装置的显示性能。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 薄膜晶体管 及其 制备 方法 显示 面板 显示装置 | ||
【主权项】：
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