[发明专利]表面检查装置及表面检查方法在审
| 申请号： | 202210272209.8 | 申请日： | 2022-03-18 |
| 公开（公告）号： | CN115112660A | 公开（公告）日： | 2022-09-27 |
| 发明（设计）人： | 千贺大辅;加藤正 | 申请（专利权）人： | JUKI株式会社 |
| 主分类号： | G01N21/88 | 分类号： | G01N21/88 |
| 代理公司： | 北京天昊联合知识产权代理有限公司 11112 | 代理人： | 何立波;张天舒 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 暂无信息 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 以短时间且高精度地对检查对象的表面的状态进行检查。表面检查装置具有：检查区域设定部，其在检查对象的表面设定检查区域；粗略检查机，其对检查区域进行检查；以及精细检查机，其比粗略检查机高精度地对由粗略检查机检查过的检查区域进行检查。 | ||
| 搜索关键词： | 表面 检查 装置 方法 | ||
【主权项】：
暂无信息
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