[发明专利]一种含孔隙靶材的清洗方法有效
| 申请号： | 202210279792.5 | 申请日： | 2022-03-21 |
| 公开（公告）号： | CN114602877B | 公开（公告）日： | 2023-05-12 |
| 发明（设计）人： | 姚力军;潘杰;王学泽;周友平;廖培君;方友华 | 申请（专利权）人： | 宁波江丰电子材料股份有限公司 |
| 主分类号： | B08B3/08 | 分类号： | B08B3/08;B08B13/00;C11D7/50;C11D7/40;C11D7/24;C11D7/26;C11D7/60 |
| 代理公司： | 北京远智汇知识产权代理有限公司 11659 | 代理人： | 牛海燕 |
| 地址： | 315400 浙江省宁波市*** | 国省代码： | 浙江;33 |
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| 摘要： | 本发明涉及一种含孔隙靶材的清洗方法，所述清洗方法包括：对含孔隙靶材依次进行第一醇洗、第二醇洗、清洗剂清洗和烘干，得到清洗后的含孔隙靶材；所述清洗剂清洗中采用的清洗剂包括体积比为1:(0.06‑0.18):(0.2‑0.35)的煤油、汽油和柴油；所述柴油为轻柴油。本发明提供的清洗方法，针对含孔隙靶材通过在清洗过程中采用特定的清洗剂实现了孔隙中切削液的去除，同时也避免了洗涤剂在靶材孔隙中的吸附而导致的二次残留。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 孔隙 清洗 方法 | ||
【主权项】：
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