[发明专利]一种晶圆探针的加工方法在审
| 申请号： | 202210288354.5 | 申请日： | 2022-03-22 |
| 公开（公告）号： | CN114657361A | 公开（公告）日： | 2022-06-24 |
| 发明（设计）人： | 罗强 | 申请（专利权）人： | 湖北熙之翼电子科技有限公司 |
| 主分类号： | C21D9/26 | 分类号： | C21D9/26;C21D1/25;B23P15/00 |
| 代理公司： | 成都顶峰专利事务所(普通合伙) 51224 | 代理人： | 邓园 |
| 地址： | 437000 湖北省咸宁市高新技术产业*** | 国省代码： | 湖北;42 |
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| 摘要： | 本发明提供了一种晶圆探针的加工方法，加工顺序依次为：选用卷材、矫直切断、去毛刺抛光、按照要求折弯探针母体、对探针母体进行硬化处理、对探针母体进行电镀、机床加工、清洗烘干和检测包装，本发明先对探针母体进行折弯处理，此时探针母体还未进行硬化处理，加工难度小，可将探针母体加工成所需形状，加工成功率高，弯折处理完成后，再对探针母体进行硬化处理，为防止探针母体在进行硬化处理时发生形变，将探针母体放入固定夹具内部进行紧固，再将探针母体和固定夹具一起放入硬化处理炉内部进行硬化处理，可大大减小探针母体的形变发生率，提高探针的合格率。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 探针 加工 方法 | ||
【主权项】：
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