[发明专利]一种用于晶圆激光加工的涂胶喷涂工装在审

专利信息
申请号: 202210300882.8 申请日: 2022-03-25
公开(公告)号: CN114570564A 公开(公告)日: 2022-06-03
发明(设计)人: 闫兴;陶为银;巩铁建;蔡正道;乔赛赛;张伟;鲍占林 申请(专利权)人: 河南通用智能装备有限公司
主分类号: B05B13/02 分类号: B05B13/02;F16F15/08
代理公司: 郑州银河专利代理有限公司 41158 代理人: 安申涛
地址: 450000 河南省郑州市高新技术产业*** 国省代码: 河南;41
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摘要: 发明提供一种用于晶圆激光加工的涂胶喷涂工装,包括升降台支撑板、升降台座、旋转喷涂载台、导向组件、第一缓冲组件和第二缓冲组件,升降台支撑板中央设有安装腔体,升降台座置于安装腔体内;旋转喷涂载台底部中央设有驱动轴,升降台座上与驱动轴传动设有动力输入机构;导向组件设于升降台支撑板与升降台座之间;升降驱动机构对应设于升降台支撑板两侧,且与升降台座驱动连接;至少两组第一缓冲组件对应设于升降台座底部两侧;至少两组第二缓冲组件对应设于升降台支撑板上两侧,且与升降台座上部对应。本发明结构稳固、响应迅速、升降行程长;旋转喷涂载台升降过程平稳、无振动,保证晶圆的加工质量。
搜索关键词: 一种 用于 激光 加工 涂胶 喷涂 工装
【主权项】:
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