[发明专利]一种用于晶圆激光加工的涂胶喷涂工装在审
申请号: | 202210300882.8 | 申请日: | 2022-03-25 |
公开(公告)号: | CN114570564A | 公开(公告)日: | 2022-06-03 |
发明(设计)人: | 闫兴;陶为银;巩铁建;蔡正道;乔赛赛;张伟;鲍占林 | 申请(专利权)人: | 河南通用智能装备有限公司 |
主分类号: | B05B13/02 | 分类号: | B05B13/02;F16F15/08 |
代理公司: | 郑州银河专利代理有限公司 41158 | 代理人: | 安申涛 |
地址: | 450000 河南省郑州市高新技术产业*** | 国省代码: | 河南;41 |
权利要求书: | 查看更多 | 说明书: | 查看更多 |
摘要: | 本发明提供一种用于晶圆激光加工的涂胶喷涂工装,包括升降台支撑板、升降台座、旋转喷涂载台、导向组件、第一缓冲组件和第二缓冲组件,升降台支撑板中央设有安装腔体,升降台座置于安装腔体内;旋转喷涂载台底部中央设有驱动轴,升降台座上与驱动轴传动设有动力输入机构;导向组件设于升降台支撑板与升降台座之间;升降驱动机构对应设于升降台支撑板两侧,且与升降台座驱动连接;至少两组第一缓冲组件对应设于升降台座底部两侧;至少两组第二缓冲组件对应设于升降台支撑板上两侧,且与升降台座上部对应。本发明结构稳固、响应迅速、升降行程长;旋转喷涂载台升降过程平稳、无振动,保证晶圆的加工质量。 | ||
搜索关键词: | 一种 用于 激光 加工 涂胶 喷涂 工装 | ||
【主权项】:
暂无信息
下载完整专利技术内容需要扣除积分,VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息,商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于河南通用智能装备有限公司,未经河南通用智能装备有限公司许可,擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作,请联系【客服】
本文链接:http://www.vipzhuanli.com/patent/202210300882.8/,转载请声明来源钻瓜专利网。
- 上一篇:RHDV2荧光定量RT-PCR检测方法
- 下一篇:一种试管振荡装置