[发明专利]一种用于晶圆激光加工的涂胶喷涂工装在审
| 申请号： | 202210300882.8 | 申请日： | 2022-03-25 |
| 公开（公告）号： | CN114570564A | 公开（公告）日： | 2022-06-03 |
| 发明（设计）人： | 闫兴;陶为银;巩铁建;蔡正道;乔赛赛;张伟;鲍占林 | 申请（专利权）人： | 河南通用智能装备有限公司 |
| 主分类号： | B05B13/02 | 分类号： | B05B13/02;F16F15/08 |
| 代理公司： | 郑州银河专利代理有限公司 41158 | 代理人： | 安申涛 |
| 地址： | 450000 河南省郑州市高新技术产业*** | 国省代码： | 河南;41 |
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| 摘要： | 本发明提供一种用于晶圆激光加工的涂胶喷涂工装，包括升降台支撑板、升降台座、旋转喷涂载台、导向组件、第一缓冲组件和第二缓冲组件，升降台支撑板中央设有安装腔体，升降台座置于安装腔体内；旋转喷涂载台底部中央设有驱动轴，升降台座上与驱动轴传动设有动力输入机构；导向组件设于升降台支撑板与升降台座之间；升降驱动机构对应设于升降台支撑板两侧，且与升降台座驱动连接；至少两组第一缓冲组件对应设于升降台座底部两侧；至少两组第二缓冲组件对应设于升降台支撑板上两侧，且与升降台座上部对应。本发明结构稳固、响应迅速、升降行程长；旋转喷涂载台升降过程平稳、无振动，保证晶圆的加工质量。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 用于 激光 加工 涂胶 喷涂 工装 | ||
【主权项】：
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