[发明专利]一种用于湿法加工TGV的蚀刻液配置系统及方法在审
| 申请号： | 202210312871.1 | 申请日： | 2022-03-28 |
| 公开（公告）号： | CN114749093A | 公开（公告）日： | 2022-07-15 |
| 发明（设计）人： | 陈云;董善坤;李彪;钟一鸣;刘作辉;侯茂祥;陈新 | 申请（专利权）人： | 广东工业大学 |
| 主分类号： | B01F35/71 | 分类号： | B01F35/71;B01F35/11;B01F35/20;B01F35/22;B01F35/80;C09K13/04;C09K13/06 |
| 代理公司： | 佛山市禾才知识产权代理有限公司 44379 | 代理人： | 何慧敏;单蕴倩 |
| 地址： | 510062 广东*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种用于湿法加工TGV的蚀刻液配置系统及方法，配置系统包括原料承装罐、第一四通换向阀、蚀刻液承装罐、液位计、废液承装罐和调节组件；原料承装罐设有第一出液口和第二出液口，第一四通换向阀设有第一接口、第二接口、第三接口和第四接口；调节组件设置于第一出液口与第一接口之间，以及第二出液口与第二接口之间；调节组件包括第一阀体和流量计，第一阀体用于打开和关闭原料承装罐，流量计用于监测管路的流量。本技术方案提出的一种用于湿法加工TGV的蚀刻液配置系统及方法，有利于解决蚀刻液配置系统无法将使用过的蚀刻液进行回收利用，同时大大增加了耗材的使用成本及废液的处理成本的技术问题，提升蚀刻液配置系统的配置精度。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 用于 湿法 加工 tgv 蚀刻 配置 系统 方法 | ||
【主权项】：
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