[发明专利]氧化铝抛光液及其制备方法在审
| 申请号： | 202210324896.3 | 申请日： | 2022-03-29 |
| 公开（公告）号： | CN114456718A | 公开（公告）日： | 2022-05-10 |
| 发明（设计）人： | 邹兴;蔡文必;林武庆 | 申请（专利权）人： | 湖南三安半导体有限责任公司 |
| 主分类号： | C09G1/02 | 分类号： | C09G1/02 |
| 代理公司： | 北京超凡宏宇专利代理事务所(特殊普通合伙) 11463 | 代理人： | 姚大雷 |
| 地址： | 410000 湖南省长沙市高新开发*** | 国省代码： | 湖南;43 |
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| 摘要： | 本发明涉及抛光液技术领域，具体而言，涉及氧化铝抛光液及其制备方法；氧化铝抛光液的制备原料包括：氧化铝微粉、α萘酚聚氧乙烯醚、多元醇、羧酸钠盐、消泡剂和pH调节剂；其中，pH调节剂包括有机碱和无机碱的复配混合物。本发明的氧化铝抛光液的制备方法包括：向用多元醇配置的溶液中添加羧酸钠盐；再添加氧化铝微粉；再添加α萘酚聚氧乙烯醚和消泡剂。本发明的氧化铝抛光液有利于得到表面质量较好的碳化硅晶片。 | ||
| 搜索关键词： | 氧化铝 抛光 及其 制备 方法 | ||
【主权项】：
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