[发明专利]薄膜沉积装置及其布气机构

摘要

本申请公开了一种薄膜沉积装置及其布气机构，布气机构包括沿第一方向依次设置的喷淋背板、均气板、匀流板和喷淋板；其中，喷淋背板和喷淋板共同形成喷淋头，均气板和匀流板位于喷淋头内，匀流板和喷淋背板之间形成第一均气腔，匀流板和喷淋板之间形成第二均气腔，均气板设于第一均气腔内；喷淋背板在面对均气板的位置设有第一通孔；均气板设有贯通的均气孔；匀流板设有贯通的匀流孔，匀流孔用于使工艺气体从第一均气腔进入第二均气腔；喷淋板设有贯通的喷淋孔。本申请提供的薄膜沉积装置及其布气机构，能够提高布气均匀性，从而提高薄膜沉积均匀性。