[发明专利]清洗装置有效
| 申请号： | 202210333213.0 | 申请日： | 2022-03-31 |
| 公开（公告）号： | CN114643223B | 公开（公告）日： | 2023-05-16 |
| 发明（设计）人： | 李圆晨;王广永;王昭;廖伟 | 申请（专利权）人： | 北京北方华创微电子装备有限公司 |
| 主分类号： | B08B3/02 | 分类号： | B08B3/02;B08B13/00 |
| 代理公司： | 北京国昊天诚知识产权代理有限公司 11315 | 代理人： | 施敬勃 |
| 地址： | 100176 北京市*** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种清洗装置，用于清洗晶圆传输设备，晶圆传输设备包括晶圆支撑臂，清洗装置包括第一清洗块和第二清洗块；其中：第一清洗块和第二清洗块中的至少一者开设有介质入口，第一清洗块和第二清洗块均设有多个介质出口；第一清洗块和第二清洗块可相对运动以对接形成清洗空间，清洗空间用于容纳晶圆支撑臂，且第一清洗块和第二清洗块形成的结构用于环绕晶圆支撑臂，多个介质出口沿清洗空间的内壁设置，以用于环绕晶圆支撑臂。上述方案可以解决清洗装置只能从一侧对晶圆支撑臂进行清洗，而存在对晶圆支撑臂清洗不完全的问题。 | ||
| 搜索关键词： | 清洗 装置 | ||
【主权项】：
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