[发明专利]静电保护SCR器件在审

专利信息
申请号: 202210336545.4 申请日: 2022-03-31
公开(公告)号: CN114743966A 公开(公告)日: 2022-07-12
发明(设计)人: 范炜盛 申请(专利权)人: 华虹半导体(无锡)有限公司
主分类号: H01L27/02 分类号: H01L27/02;H01L23/60
代理公司: 上海浦一知识产权代理有限公司 31211 代理人: 戴广志
地址: 214028 江*** 国省代码: 江苏;32
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摘要: 本申请涉及半导体集成电路制造技术领域,具体涉及一种静电保护SCR器件。静电保护SCR器件包括底层,底层上形成阱区层,阱区层上形成掺杂离子层;阱区层包括横向相邻设置的第一导电类型区和第二导电类型区;掺杂离子层包括位于第一导电类型区位置上的第一导电类型掺杂A区和第二导电类型掺杂A区,包括位于第二导电类型区位置上的第一导电类型掺杂B区和第二导电类型掺杂B区;掺杂离子层还包括跨接在第一导电类型区和第二导电类型区之间交界处上的第一重掺杂区;位于第一重掺杂区下的第一导电类型区中,或者位于第一重掺杂区下的第二导电类型区中形成第二重掺杂区;第一重掺杂区和第二重掺杂区之间交叠接触形成击穿结。
搜索关键词: 静电 保护 scr 器件
【主权项】:
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