[发明专利]一种膜层粘附力强度测试结构和方法在审
| 申请号： | 202210341766.0 | 申请日： | 2022-04-02 |
| 公开（公告）号： | CN114894709A | 公开（公告）日： | 2022-08-12 |
| 发明（设计）人： | 陈鲁钦;陈香草;石磊;郑会杰;张小娜;张晶思;姜炜 | 申请（专利权）人： | 上海中航光电子有限公司 |
| 主分类号： | G01N19/04 | 分类号： | G01N19/04 |
| 代理公司： | 北京允天律师事务所 11697 | 代理人： | 王荣 |
| 地址： | 201108 *** | 国省代码： | 上海;31 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本申请提供了一种膜层粘附力强度测试结构和方法，该结构包括：设置在基板上测试区的待测膜层，设置在待测膜层远离基板一侧的胶连层，压片弹簧，压片弹簧包括弧形区和卡扣区，弧形区的压片弹簧设置在胶连层远离待测膜层的一侧，且与待测膜层表面平行，卡扣区的压片弹簧与弧形区的压片弹簧连接，并延伸反扣在待测膜层远离胶连层的一侧。即利用本申请的结构可以对膜层粘附力强度进行测试，可以根据待测膜层的尺寸和形状调整压片弹簧的尺寸和形状，即使待测膜层的尺寸较小时，也可以有效的进行膜层粘附力强度的测试，提高了半导体膜层粘附力强度测试的普适性，且同时本申请的结构中弧形区和卡扣区一体化设置，简单易行，节约了成本。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 粘附 强度 测试 结构 方法 | ||
【主权项】：
暂无信息
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于上海中航光电子有限公司，未经上海中航光电子有限公司许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/202210341766.0/，转载请声明来源钻瓜专利网。
- 上一篇：流程配置方法及装置
- 下一篇：一种添加网络摄像机的方法、装置、设备及介质
