[发明专利]可竖移止晃的提拉机构及其使用方法有效
| 申请号： | 202210342263.5 | 申请日： | 2022-03-31 |
| 公开（公告）号： | CN114686979B | 公开（公告）日： | 2023-03-28 |
| 发明（设计）人： | 陈俊宏 | 申请（专利权）人： | 徐州鑫晶半导体科技有限公司 |
| 主分类号： | C30B27/02 | 分类号： | C30B27/02 |
| 代理公司： | 北京清亦华知识产权代理事务所(普通合伙) 11201 | 代理人： | 徐章伟 |
| 地址： | 221004 江苏*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种可竖移止晃的提拉结构及其使用方法，提拉结构包括：籽晶夹，籽晶夹用于固定籽晶，籽晶夹的至少部分外周面为回转形的配合面；软轴，软轴下端连接籽晶夹，软轴构造成能够牵引籽晶夹旋转和升降；限位件，限位件为一个且环绕籽晶夹设置，或者限位件为多个且环绕籽晶夹分布，限位件构造成能够绕软轴的旋转轴线旋转，且限位件在第一位置和第二位置之间可竖向移动，限位件的朝向软轴的旋转轴线的至少部分表面为限位面；在第一位置时限位件的限位面位于配合面的上方，在第二位置时限位面位于配合面的高度范围内。本发明的提拉机构，能够快速稳定籽晶夹的晃动，减少对晶棒生长的影响。 | ||
| 搜索关键词： | 可竖移止晃 机构 及其 使用方法 | ||
【主权项】：
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