[发明专利]一种太赫兹波长测量与扫描成像一体化装置在审
申请号: | 202210342306.X | 申请日: | 2022-04-02 |
公开(公告)号: | CN114719979A | 公开(公告)日: | 2022-07-08 |
发明(设计)人: | 何正龙;方波;邬佳璐;郑捷;王震;蔡晋辉 | 申请(专利权)人: | 中国计量大学;杭州大华仪器制造有限公司 |
主分类号: | G01J3/28 | 分类号: | G01J3/28;G01J3/02;G01N21/3586 |
代理公司: | 宁波华拓同亿专利代理事务所(普通合伙) 33432 | 代理人: | 南梦怡 |
地址: | 310000 浙江省*** | 国省代码: | 浙江;33 |
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摘要: | 本发明公开了一种太赫兹波长测量与扫描成像一体化装置,包括太赫兹源、孔径光阑、离轴抛物面镜、分束镜、反射镜M2、反射镜M1,透镜、待测物体和探测器,所述装置将太赫兹波长测量与太赫兹扫描成像一体化,太赫兹波长测量与太赫兹扫描成像共用太赫兹源、光阑、离轴抛物面镜、分束镜、反射镜M2、反射镜M1、透镜和探测器,所述离轴抛物面镜、分束镜、反射镜M1三器件中心位于同一直线上。该太赫兹波长测量与扫描成像一体化装置,将太赫兹波长测量与太赫兹扫描成像进行一体化设计,共用太赫兹源、孔径光阑、离轴抛物面镜、分束镜、反射镜、透镜和探测器,实现高精度的波长测量与物体扫描成像,减小了装置体积,使装置具备功耗低、效率高的特点。 | ||
搜索关键词: | 一种 赫兹 波长 测量 扫描 成像 一体化 装置 | ||
【主权项】:
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