[发明专利]半导体器件、制作方法及存储器系统在审
申请号: | 202210342872.0 | 申请日: | 2022-03-31 |
公开(公告)号: | CN114725122A | 公开(公告)日: | 2022-07-08 |
发明(设计)人: | 李倩;伍术;张宇澄 | 申请(专利权)人: | 长江存储科技有限责任公司 |
主分类号: | H01L27/1157 | 分类号: | H01L27/1157;H01L27/11565;H01L27/11582;H01L27/11573 |
代理公司: | 北京派特恩知识产权代理有限公司 11270 | 代理人: | 张雪;浦彩华 |
地址: | 430074 湖北省武*** | 国省代码: | 湖北;42 |
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摘要: | 本公开提供了一种半导体器件、制作方法及存储器系统。所述半导体器件包括:第一半导体结构,所述第一半导体结构包括半导体层、位于所述半导体层上的堆叠结构、贯穿所述堆叠结构且与所述半导体层电接触的沟道结构以及贯穿所述堆叠结构且延伸进入所述半导体层的栅线隔离结构;所述堆叠结构包括沿第一方向交替排布的沟道区和隔离区,所述沟道结构位于所述沟道区内,所述栅线隔离结构位于所述隔离区内;位于所述隔离区上且与所述半导体层远离所述堆叠结构的一面接触的源极触点,所述源极触点在所述半导体层上的正投影沿所述第一方向延伸的边缘与所述栅线隔离结构在所述半导体层上的正投影沿所述第一方向延伸的边缘不重叠。 | ||
搜索关键词: | 半导体器件 制作方法 存储器 系统 | ||
【主权项】:
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H01 基本电气元件
H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L27-00 由在一个共用衬底内或其上形成的多个半导体或其他固态组件组成的器件
H01L27-01 .只包括有在一公共绝缘衬底上形成的无源薄膜或厚膜元件的器件
H01L27-02 .包括有专门适用于整流、振荡、放大或切换的半导体组件并且至少有一个电位跃变势垒或者表面势垒的;包括至少有一个跃变势垒或者表面势垒的无源集成电路单元的
H01L27-14 . 包括有对红外辐射、光、较短波长的电磁辐射或者微粒子辐射并且专门适用于把这样的辐射能转换为电能的,或适用于通过这样的辐射控制电能的半导体组件的
H01L27-15 .包括专门适用于光发射并且包括至少有一个电位跃变势垒或者表面势垒的半导体组件
H01L27-16 .包括含有或不含有不同材料结点的热电元件的;包括有热磁组件的
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