[发明专利]半导体器件、制作方法及存储器系统在审

专利信息
申请号: 202210342872.0 申请日: 2022-03-31
公开(公告)号: CN114725122A 公开(公告)日: 2022-07-08
发明(设计)人: 李倩;伍术;张宇澄 申请(专利权)人: 长江存储科技有限责任公司
主分类号: H01L27/1157 分类号: H01L27/1157;H01L27/11565;H01L27/11582;H01L27/11573
代理公司: 北京派特恩知识产权代理有限公司 11270 代理人: 张雪;浦彩华
地址: 430074 湖北省武*** 国省代码: 湖北;42
权利要求书: 查看更多 说明书: 查看更多
摘要: 本公开提供了一种半导体器件、制作方法及存储器系统。所述半导体器件包括:第一半导体结构,所述第一半导体结构包括半导体层、位于所述半导体层上的堆叠结构、贯穿所述堆叠结构且与所述半导体层电接触的沟道结构以及贯穿所述堆叠结构且延伸进入所述半导体层的栅线隔离结构;所述堆叠结构包括沿第一方向交替排布的沟道区和隔离区,所述沟道结构位于所述沟道区内,所述栅线隔离结构位于所述隔离区内;位于所述隔离区上且与所述半导体层远离所述堆叠结构的一面接触的源极触点,所述源极触点在所述半导体层上的正投影沿所述第一方向延伸的边缘与所述栅线隔离结构在所述半导体层上的正投影沿所述第一方向延伸的边缘不重叠。
搜索关键词: 半导体器件 制作方法 存储器 系统
【主权项】:
暂无信息
下载完整专利技术内容需要扣除积分,VIP会员可以免费下载。

该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息,商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于长江存储科技有限责任公司,未经长江存储科技有限责任公司许可,擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作,请联系【客服

本文链接:http://www.vipzhuanli.com/patent/202210342872.0/,转载请声明来源钻瓜专利网。

×

专利文献下载

说明:

1、专利原文基于中国国家知识产权局专利说明书;

2、支持发明专利 、实用新型专利、外观设计专利(升级中);

3、专利数据每周两次同步更新,支持Adobe PDF格式;

4、内容包括专利技术的结构示意图流程工艺图技术构造图

5、已全新升级为极速版,下载速度显著提升!欢迎使用!

请您登陆后,进行下载,点击【登陆】 【注册】

关于我们 寻求报道 投稿须知 广告合作 版权声明 网站地图 友情链接 企业标识 联系我们

钻瓜专利网在线咨询

周一至周五 9:00-18:00

咨询在线客服咨询在线客服
tel code back_top