[发明专利]一种半导体材料电阻率检测方法及装置以及关系确定方法在审
| 申请号： | 202210345171.2 | 申请日： | 2022-03-31 |
| 公开（公告）号： | CN114966207A | 公开（公告）日： | 2022-08-30 |
| 发明（设计）人： | 袁振洲;刘欣宇 | 申请（专利权）人： | 江苏超芯星半导体有限公司 |
| 主分类号： | G01R27/02 | 分类号： | G01R27/02;G01J3/46 |
| 代理公司： | 北京品源专利代理有限公司 11332 | 代理人： | 王瑞云 |
| 地址： | 210000 江苏省南京市中国（江苏）自由*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本发明实施例公开了一种半导体材料电阻率检测方法及装置以及关系确定方法。半导体材料电阻率检测方法包括：紫外线光照射待测半导体材料；获取待测半导体材料的发光颜色；根据发光颜色确定颜色值；根据颜色值‑电阻率关系确定颜色值对应的电阻率。本发明实施例通过发光颜色即可确定半导体材料电阻率，无需进行切片等加工步骤以及精密检测仪器检测。提高了生产工艺过程中的检测效率，降低了检测成本。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 半导体材料 电阻率 检测 方法 装置 以及 关系 确定 | ||
【主权项】：
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