[发明专利]气浮承载设备在审
| 申请号： | 202210352833.9 | 申请日： | 2022-04-01 |
| 公开（公告）号： | CN114777826A | 公开（公告）日： | 2022-07-22 |
| 发明（设计）人： | 陈鲁;张龙;方一;张嵩 | 申请（专利权）人： | 深圳中科飞测科技股份有限公司 |
| 主分类号： | G01D11/00 | 分类号： | G01D11/00 |
| 代理公司： | 深圳精智联合知识产权代理有限公司 44393 | 代理人： | 夏声平 |
| 地址： | 518110 广东省深圳市龙华区大浪街*** | 国省代码： | 广东;44 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本发明实施例公开的一种气浮承载设备例如包括：承载层；间隔层，连接在承载层的一侧；气路连接层，连接在间隔层远离承载层的一侧；承载层、间隔层和气路连接层之间形成有用于气浮承载待测件的第一气压通道和第二气压通道；第一气压通道和第二气压通道分别从承载层上远离气路连接层的一侧依次穿过承载层、间隔层和气路连接层，并延伸到气路连接层上远离承载层的一侧。本发明提供的气浮承载设备通过设置第一气路通道和第二气路通道用于对待测件进行气浮承载，以提高气浮承载设备的气浮承载效果。 | ||
| 搜索关键词： | 承载 设备 | ||
【主权项】：
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