[发明专利]一种用于细管道内壁的磁控溅射镀膜装置在审
| 申请号： | 202210354033.0 | 申请日： | 2022-04-06 |
| 公开（公告）号： | CN114752902A | 公开（公告）日： | 2022-07-15 |
| 发明（设计）人： | 刘佳明;王鹏程;刘顺明;谭彪;孙晓阳;关玉慧 | 申请（专利权）人： | 散裂中子源科学中心;中国科学院高能物理研究所 |
| 主分类号： | C23C14/35 | 分类号： | C23C14/35;C23C14/04;C23C14/52 |
| 代理公司： | 深圳鼎合诚知识产权代理有限公司 44281 | 代理人： | 廖金晖;彭家恩 |
| 地址： | 523808 广东省东莞*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | 一种用于细管道内壁的磁控溅射镀膜装置，包括：连接导向机构，配重导向机构，阴极丝以及磁场发生机构；连接导向机构包括：连接管，导体固定件，以及绝缘连接件；导体固定件的内部设有第一连接穿孔，绝缘连接件的内部设有第二连接穿孔，阴极丝的一端穿设于第一连接穿孔与第二连接穿孔中，并固定在导体固定件上；配重导向机构包括：导向管以及配重件；配重件可滑动的设置在导向管中，配重件上设有固定位，阴极丝的另一端连接于固定位；磁场发生机构用于套设在被镀管道的外侧。阴极丝的两端分别与连接导向机构和导线配重导向机构连接，并通过连接导向机构和配重导向机构保持阴极丝与细长管道的同轴度，避免阴极丝接触细长管道而导致其短路的现象。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 用于 细管 内壁 磁控溅射 镀膜 装置 | ||
【主权项】：
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