[发明专利]一种液压式金属掩膜版框、掩膜版组件及其调节方法在审
| 申请号： | 202210356434.X | 申请日： | 2022-04-06 |
| 公开（公告）号： | CN114672764A | 公开（公告）日： | 2022-06-28 |
| 发明（设计）人： | 钱超;李成林;张蔡星;杨柯 | 申请（专利权）人： | 江苏高光半导体材料有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/04 | 分类号： | C23C14/04;C23C14/24;H01L51/56 |
| 代理公司： | 南京纵横知识产权代理有限公司 32224 | 代理人： | 董成 |
| 地址： | 212400 江苏省镇*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本发明提出的一种液压式金属掩膜版框、掩膜版组件及其调节方法，涉及金属掩膜版领域。液压式金属掩膜版框包括液压框，液压框框体内部具有液体腔，液体腔内填充液压介质，液压框框体的外侧面上分布有若干活塞孔，活塞孔内均装有与之相适配的活塞推杆，液压框上还具有至少一个调节孔，调节孔与液体腔连通，调节孔内连接有压力调节单元；还包括四组活动框边，分别设置在液压框的四边上，且均与液压框的上侧面滑动连接，活动框边具有推杆阻挡部，推杆阻挡部覆盖于液压框的相应的框体外侧面，活塞推杆的外端抵接于推杆阻挡部的内侧面。掩膜版组件包括上述液压式金属掩膜版框和金属掩膜版。本发明能够抑制掩膜网面的下垂，提高产品质量。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 液压式 金属 掩膜版框 掩膜版 组件 及其 调节 方法 | ||
【主权项】：
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