[发明专利]一种叠层芯片界面超声扫描的波形识别方法在审
| 申请号： | 202210374584.3 | 申请日： | 2022-04-11 |
| 公开（公告）号： | CN114778688A | 公开（公告）日： | 2022-07-22 |
| 发明（设计）人： | 王世楠;仇跃涵;邵若微;缪少聪;郭锦 | 申请（专利权）人： | 中国电子科技集团公司第五十八研究所 |
| 主分类号： | G01N29/06 | 分类号： | G01N29/06;G01N1/28;H01L21/66 |
| 代理公司： | 无锡派尔特知识产权代理事务所(普通合伙) 32340 | 代理人： | 杨立秋 |
| 地址： | 214000 *** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本发明涉及芯片检测技术领域，具体涉及一种叠层芯片界面超声扫描的波形识别方法，包括如下步骤：根据待测叠层芯片封装结构图，确定待测芯片的封装结构；制作分解扫描试样；分别将分解扫描试样浸入水中，界面朝向与叠层芯片一致，使用去离子水去除分解扫描试样表面气泡，对分解扫描试样进行A‑扫描并记录对应A‑扫描反射波形；将叠层芯片浸入水中，使用去离子水去除叠层芯片表面气泡，对叠层芯片进行A‑扫描，记录A‑扫描反射波形；将分解扫描试样界面区域的A‑扫描反射波形与叠层芯片A‑扫描反射波形对应；本发明基于超声波扫描显微镜，利用分解扫描的思想，实现了对叠层芯片各界面反射波形的有效识别，提高了对叠层芯片界面质量的评估能力。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 芯片 界面 超声 扫描 波形 识别 方法 | ||
【主权项】：
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