[发明专利]一种滤光片及晶圆划裂片用环保型基材及其制备方法在审
| 申请号： | 202210382441.7 | 申请日： | 2022-04-12 |
| 公开（公告）号： | CN114701228A | 公开（公告）日： | 2022-07-05 |
| 发明（设计）人： | 李丹丹 | 申请（专利权）人： | 芊惠半导体科技(苏州)有限公司 |
| 主分类号： | B32B27/32 | 分类号： | B32B27/32;B32B27/20;B32B27/08;C08L23/08;C08L23/06;C08L23/14;C08L23/10;C08J5/18;C09J7/29;G02B5/20 |
| 代理公司： | 北京超凡宏宇专利代理事务所(特殊普通合伙) 11463 | 代理人： | 张金铭 |
| 地址： | 215600 江苏省苏州市*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本发明提供了一种滤光片及晶圆划裂片用环保型基材及其制备方法，涉及半导体的技术领域，本发明的环保型基材聚烯烃薄膜包括层叠设置的第一表层和第二表层；其中，第一表层主要由以下组分制备而成：共聚聚丙烯、聚丙烯基弹性体以及爽滑剂，第二表层主要由以下组分制备而成：乙烯‑醋酸乙烯共聚物和高压低密度聚乙烯。本发明解决了晶圆裂片用PVC保护膜的质量稳定性欠佳及其在回收处理过程中污染环境的技术问题，达到了晶圆裂片保护用膜不仅能够达到PVC保护膜相同的性能，而且在回收处理过程中不会污染环境的技术效果。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 滤光 晶圆划 裂片 环保 基材 及其 制备 方法 | ||
【主权项】：
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