[发明专利]一种用于电子部件加工用光刻装置及方法

摘要

本发明涉及一种用于电子部件加工用光刻装置及方法,包括光刻机本体，所述光刻机本体上安装在底座上，还包括安装于所述底座上的立轴，所述立轴上设置有升降套筒，所述升降套筒的内壁上固定安装有凸起，所述凸起与设置在所述立轴上的轨道滑动配合，所述立轴上的上还固定安装有横杆，所述横杆与吸附组件适配，且所述吸附组件与承接组件适配，所述底座上还设置有动力组件，所述动力组件同安装在所述底座上的往复组件连接，所述动力组件还连接设置在所述底座上的传输组件，所述传输组件的上部设置有用于对电子部件进行清理的送风组件，所述送风组件通过安装架与所述底座连接，实现在光刻机工作的过程中，进行机械化的上料方式，降低人工成本。