[发明专利]一种用于熔融石英半球谐振子的运动轨迹发生装置及化学蚀刻装置有效
| 申请号： | 202210396199.9 | 申请日： | 2022-04-15 |
| 公开（公告）号： | CN114812607B | 公开（公告）日： | 2023-02-07 |
| 发明（设计）人： | 王常虹;魏振楠;赵瑜;伊国兴;孙一为 | 申请（专利权）人： | 哈尔滨工业大学 |
| 主分类号： | G01C25/00 | 分类号： | G01C25/00;C03C15/00 |
| 代理公司： | 哈尔滨华夏松花江知识产权代理有限公司 23213 | 代理人： | 高志光 |
| 地址： | 150001 黑龙*** | 国省代码： | 黑龙江;23 |
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| 摘要： | 一种用于熔融石英半球谐振子的运动轨迹发生装置及化学蚀刻装置，运动轨迹发生装置包含第一电机、第一安装座、基座、曲柄回转机构和夹持装置；曲柄回转机构包含曲柄、连杆、摇杆和支撑杆；第一电机安装在第一安装座上，第一安装座固定在基座上，曲柄可转动地设置在基座上，连杆的一端与曲柄转动连接，连杆的另一端与摇杆转动连接，第二安装座固定在摇杆的另一端，第二电机固定在第二安装座上。化学蚀刻装置包含运动轨迹发生装置、旋转台、化学蚀刻液槽、去离子水槽、无水乙醇槽和安装基座；旋转台、化学蚀刻液槽、去离子水槽和无水乙醇槽均固定在安装基座上。本发明可实现熔融石英半球谐振子的运动轨迹和化学蚀刻。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 用于 熔融 石英 半球 谐振子 运动 轨迹 发生 装置 化学 蚀刻 | ||
【主权项】：
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