[发明专利]一种高压LED制作方法以及高压LED在审
| 申请号： | 202210445105.2 | 申请日： | 2022-04-26 |
| 公开（公告）号： | CN114784155A | 公开（公告）日： | 2022-07-22 |
| 发明（设计）人： | 梅震;黄斌斌;章兴洋;罗坤;刘兆 | 申请（专利权）人： | 江西乾照光电有限公司 |
| 主分类号： | H01L33/00 | 分类号： | H01L33/00;H01L33/06;H01L33/32;H01L33/38 |
| 代理公司： | 北京集佳知识产权代理有限公司 11227 | 代理人： | 王晓坤 |
| 地址： | 330103 江西省南*** | 国省代码： | 江西;36 |
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| 摘要： | 本申请实施例公开了一种高压LED制作方法以及高压LED，该制作方法包括：提供衬底；在衬底表面形成外延结构；刻蚀外延结构形成电极图形和沟槽；形成第一阻挡层、第二阻挡层和第三阻挡层；形成透明导电层、金属层和绝缘层；第一阻挡层覆盖沟槽侧壁、沟槽裸露的衬底以及外延结构部分表面，避免透明导电层与沟槽裸露的P型层、有源层和N型层接触；第二阻挡层覆盖电极图像的刻蚀沟道侧壁、刻蚀沟道裸露的N型层和外延结构部分表面，避免透明导电层与电极图形刻蚀沟道裸露的P型层、有源层和N型层接触，有助于降低形成透明导电层时的线宽，并且绝缘层覆盖第一阻挡层，增加覆盖沟槽的钝化层的厚度，抑制高压LED漏电，并提高抗湿气侵蚀能力。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 高压 led 制作方法 以及 | ||
【主权项】：
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