[发明专利]一种在线晶圆检测装置和控制系统在审
| 申请号： | 202210448344.3 | 申请日： | 2022-04-26 |
| 公开（公告）号： | CN114812451A | 公开（公告）日： | 2022-07-29 |
| 发明（设计）人： | 楚磊;何炜颖 | 申请（专利权）人： | 安徽富乐德长江半导体材料股份有限公司 |
| 主分类号： | G01B11/30 | 分类号： | G01B11/30;G01N21/95 |
| 代理公司： | 铜陵市天成专利事务所(普通合伙) 34105 | 代理人： | 李坤 |
| 地址： | 244000*** | 国省代码： | 安徽;34 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种在线晶圆检测装置和控制系统，该装置包括视觉检测工位，所述的视觉检测工位包括支架、投屏和工业相机，所述支架从上往下分别设有光源、半透半反镜和承片台，所述投屏设置在支架一侧，工业相机设置在投屏后方；所述的控制系统包括图像采集系统、图像处理系统、动作执行机构，本发明设计了在线晶圆检测装置和控制系统，降低晶圆崩裂的风险，提高晶圆加工的质量，同时可以减少检测人员的操作难度，提高检测效率。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 在线 检测 装置 控制系统 | ||
【主权项】：
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