[发明专利]一种自动取片机有效
| 申请号： | 202210471056.X | 申请日： | 2022-04-28 |
| 公开（公告）号： | CN114932636B | 公开（公告）日： | 2023-10-24 |
| 发明（设计）人： | 曾贵州;周铁军;唐勇;卿德武;陈章水 | 申请（专利权）人： | 广东先导微电子科技有限公司 |
| 主分类号： | B28D5/04 | 分类号： | B28D5/04;B28D7/00;B28D7/02;B28D7/04 |
| 代理公司： | 清远市诺誉知识产权代理事务所(普通合伙) 44815 | 代理人： | 龚元元 |
| 地址： | 511517 广东省*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种自动取片机，其可使晶棒切割后形成的晶片一一分离，且分离效率高，其技术方案：包括一固定结构，用于固定外设晶托；还包括一切割组件、一第一驱动组件，所述第一驱动组件用于使切割组件与固定结构产生相对移动以使切割组件切割外设基板，属于晶片制备技术领域。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 自动 取片机 | ||
【主权项】：
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