[发明专利]检测设备有效
| 申请号： | 202210474503.7 | 申请日： | 2022-04-29 |
| 公开（公告）号： | CN114684611B | 公开（公告）日： | 2023-04-25 |
| 发明（设计）人： | 林宜龙;刘飞;水清;吴海裕 | 申请（专利权）人： | 深圳格芯集成电路装备有限公司 |
| 主分类号： | B65G47/91 | 分类号： | B65G47/91;B65G47/74 |
| 代理公司： | 深圳高智量知识产权代理有限公司 44851 | 代理人： | 姚启迪 |
| 地址： | 518000 广东省深圳市坪山区龙田街道*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | 本发明提供了一种检测设备，其包括移载机构、第一驱动机构、第二驱动机构和第三驱动机构，移载机构包括移载驱动组件和装夹件，移载驱动组件驱动装夹件沿预设路径移动，装夹件用于装夹待检测件；第一驱动机构用于驱动移载机构在第一方向往复运动；第二驱动机构用于驱动移载机构在第二方向往复运动；第三驱动机构用于驱动移载机构在第三方向往复运动；其中，第一方向、第二方向和第三方向两两垂直。通过设置两两垂直的驱动机构能够使得检测部件在多个方向的位置进行调节，从而达到对测试位置校准、以及将待检测部件运送到检测位置的作用，检测位置精度高，从而使得检测更加精准。 | ||
| 搜索关键词： | 检测 设备 | ||
【主权项】：
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