[发明专利]微机电系统差分磁传感器、传感器单体及电子设备在审
| 申请号： | 202210483319.9 | 申请日： | 2022-05-05 |
| 公开（公告）号： | CN115079061A | 公开（公告）日： | 2022-09-20 |
| 发明（设计）人： | 邹泉波 | 申请（专利权）人： | 歌尔微电子股份有限公司 |
| 主分类号： | G01R33/09 | 分类号： | G01R33/09 |
| 代理公司： | 北京博雅睿泉专利代理事务所(特殊普通合伙) 11442 | 代理人： | 马铁良 |
| 地址： | 266101 山东省青岛市崂*** | 国省代码： | 山东;37 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 公开了一种微机电系统差分磁传感器、传感器单体及电子设备。该微机电系统差分磁传感器包括：第一磁阻；第一磁源；以及第二磁源，其中，第一磁源和第二磁源分别位于第一磁阻的两侧，第一磁源和第二磁源的磁化方向相反，以在第一磁阻处形成差分磁场，第一磁阻、第一磁源和第二磁源形成在相同的器件平面上，以及所述第一磁阻能相对于第一磁源和第二磁源移动。 | ||
| 搜索关键词： | 微机 系统 差分磁 传感器 单体 电子设备 | ||
【主权项】：
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