[发明专利]电子显微镜的真空抽取系统及真空抽取方法在审
| 申请号： | 202210489587.1 | 申请日： | 2022-05-06 |
| 公开（公告）号： | CN114899069A | 公开（公告）日： | 2022-08-12 |
| 发明（设计）人： | 邬大龙;邹文兵;唐爱权;魏志猛;李凌瞳;白生伟;周瑞 | 申请（专利权）人： | 苏州博众仪器科技有限公司;博众精工科技股份有限公司 |
| 主分类号： | H01J37/18 | 分类号： | H01J37/18;H01J37/26 |
| 代理公司： | 北京品源专利代理有限公司 11332 | 代理人： | 郭利娜 |
| 地址： | 215200 江苏省苏州*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本发明属于电子显微镜的技术领域，公开了电子显微镜的真空抽取系统及真空抽取方法。该电子显微镜的真空抽取系统包括：检测件，用于检测电子显微镜内的气压值；控制器，与检测件通讯连接；抽真空机构，与电子显微镜内连通。抽真空机构包括均与控制器通讯连接的预抽组件、一级抽气组件以及二级抽气组件，控制器配置为根据气压值的逐渐降低而依次控制预抽组件、一级抽气组件以及二级抽气组件启动。以此通过预抽组件、一级抽气组件、二级抽气组件依次启动来完成对电子显微镜内的抽气，不仅可以快速将气体抽出，获得符合要求的真空度，而且启动过程完全由控制器来控制，其整体的自动化程度较高，能够有效提高设备的使用效率。 | ||
| 搜索关键词： | 电子显微镜 真空 抽取 系统 方法 | ||
【主权项】：
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