[发明专利]流量传感器封装结构及封装方法有效
| 申请号： | 202210495867.3 | 申请日： | 2022-05-09 |
| 公开（公告）号： | CN114608666B | 公开（公告）日： | 2022-08-26 |
| 发明（设计）人： | 肖素艳 | 申请（专利权）人： | 苏州敏芯微电子技术股份有限公司 |
| 主分类号： | G01F1/684 | 分类号： | G01F1/684;G01F15/14;B81B7/00;B81B7/02;B81C1/00 |
| 代理公司： | 深圳紫藤知识产权代理有限公司 44570 | 代理人： | 方世栋 |
| 地址： | 215123 江苏省苏州市工业*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本发明提供了一种流量传感器封装结构及封装方法，其中封装结构包括：流量传感器、基板以及流道盖板，基板与流量传感器固定连接，流道盖板与基板固定连接，其中，流量传感器嵌入到通孔内，并且流量传感器的感测表面与流道盖板远离基板的一侧表面平齐。在本发明所提供技术方案中，由于流量传感器的感测表面与流道盖板远离基板的一侧表面平齐，在流量传感器的感测表面附近，流体的流动是平稳的，从而避免由于流量传感器的感测表面附近流体波动所导致的流量传感器的测量精度、稳定性及量程比降低的情况。 | ||
| 搜索关键词： | 流量传感器 封装 结构 方法 | ||
【主权项】：
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