[发明专利]一种用于显示制程金属离子酸性蚀刻液的生产系统及方法有效
| 申请号： | 202210502822.4 | 申请日： | 2022-05-10 |
| 公开（公告）号： | CN114870740B | 公开（公告）日： | 2023-06-30 |
| 发明（设计）人： | 邵振;陈杰 | 申请（专利权）人： | 江苏和达电子科技有限公司 |
| 主分类号： | B01F35/80 | 分类号： | B01F35/80;B01F33/80;B01F33/82;B01F35/22;B01F35/221;C23F1/16;C23F1/18 |
| 代理公司： | 上海新泊利知识产权代理事务所(普通合伙) 31435 | 代理人： | 朱晓敏 |
| 地址： | 212212 江苏*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本发明提供一种用于显示制程金属离子酸性蚀刻液的生产系统及方法，包括通过PLC控制进行程序升温的加热器，所述加热器对蚀刻液预混原料和添加剂进行程序升温，其中蚀刻液预混原料包括酸、碱、金属无机盐，快速换热器，所述快速换热器连接所述加热器，用以对加热器程序升温后的蚀刻液预混原料快速换热，双氧水混合罐，所述双氧水混合罐连接所述快速换热器，用以对快速换热器快速换热后的蚀刻液预混原料和双氧水混合，采用程序升温制得的显示制程金属离子酸性蚀刻液相对于未使用程序升温的显示制程金属离子酸性蚀刻液蚀刻效果和侧蚀效果更稳定。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 用于 显示 金属 离子 酸性 蚀刻 生产 系统 方法 | ||
【主权项】：
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