[发明专利]一种高铟含量的ITO靶材的制备方法在审
| 申请号： | 202210503537.4 | 申请日： | 2022-05-10 |
| 公开（公告）号： | CN114873992A | 公开（公告）日： | 2022-08-09 |
| 发明（设计）人： | 张兵;王志强;曾墩风;马建保;陶成;徐军伟 | 申请（专利权）人： | 芜湖映日科技股份有限公司 |
| 主分类号： | C04B35/01 | 分类号： | C04B35/01;C04B35/622;C04B35/638;C23C14/08;C23C14/34;C23C14/35 |
| 代理公司： | 南京正联知识产权代理有限公司 32243 | 代理人： | 杨静 |
| 地址： | 241000 安徽省芜湖市自由贸易*** | 国省代码： | 安徽;34 |
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| 摘要： |
本发明公开了一种高铟含量的ITO靶材的制备方法，所述的ITO靶材中氧化铟粉末、氧化锡粉末质量比大于等于97：3，所述氧化铟粉体的比表面积为11‑12m |
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| 搜索关键词： | 一种 含量 ito 制备 方法 | ||
【主权项】：
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