[发明专利]微型气体检测系统在审
| 申请号： | 202210506998.7 | 申请日： | 2022-05-10 |
| 公开（公告）号： | CN115791647A | 公开（公告）日： | 2023-03-14 |
| 发明（设计）人： | 莫皓然;吴锦铨;薛洁筠;韩永隆;黄启峰;林宗义 | 申请（专利权）人： | 研能科技股份有限公司 |
| 主分类号： | G01N21/31 | 分类号： | G01N21/31 |
| 代理公司： | 上海专利商标事务所有限公司 31100 | 代理人： | 喻学兵 |
| 地址： | 中国台湾新竹市*** | 国省代码： | 台湾;71 |
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| 摘要： | 一种微型气体检测系统，包含：分离流路，由半导体制程制出，包含主流路及多个检测流路，每个检测流路中生成监测腔室，在监测腔室底部生成微机电泵；填充材，设置于分离流路的主流路中，对导入主流路中气体进行所含成份化合物的吸附分离；在监测腔室内通过光源发射元件所发射光源照射于两反射镜而投射于光源检测元件接收，以利用监测腔室内通过气体所含成份化合物对不同波长光源吸收不同的特性，由光源检测元件接收获得气体所含成份化合物所输出光谱，以进行分析判断出该气体所含成份化合物的种类。 | ||
| 搜索关键词： | 微型 气体 检测 系统 | ||
【主权项】：
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