[发明专利]致动器装置和致动器系统在审
| 申请号： | 202210508754.2 | 申请日： | 2022-05-11 |
| 公开（公告）号： | CN115347111A | 公开（公告）日： | 2022-11-15 |
| 发明（设计）人： | 铃木大几;大崎拓真;野崎慎;杉崎滉太 | 申请（专利权）人： | 浜松光子学株式会社 |
| 主分类号： | H01L41/09 | 分类号： | H01L41/09;H01L41/047 |
| 代理公司： | 北京尚诚知识产权代理有限公司 11322 | 代理人： | 杨琦 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 致动器装置包括配线基板、金属基板、设置于金属基板的第1电极部、配置于第1电极部上的驱动用压电体、配置于驱动用压电体的第1主面的第2电极部、配置于第2电极部上的检测用压电体、配置于检测用压电体的第3主面的第3电极部、连接部、输入部和输出部。连接部构成为与外部的基准电位电连接，第2电极部的电位成为基准电位。输入部构成为从外部向第1电极部输入驱动信号。输出部构成为将在检测用压电体中产生的输出信号从第3电极部向外部输出。 | ||
| 搜索关键词： | 致动器 装置 系统 | ||
【主权项】：
暂无信息
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