[发明专利]台阶仪的调校方法在审

专利信息
申请号: 202210513113.6 申请日: 2022-05-11
公开(公告)号: CN115077446A 公开(公告)日: 2022-09-20
发明(设计)人: 韩志国;李锁印;邹学锋;张晓东;赵琳;吴爱华;张家欢 申请(专利权)人: 中国电子科技集团公司第十三研究所
主分类号: G01B21/02 分类号: G01B21/02;G01B21/08
代理公司: 石家庄国为知识产权事务所 13120 代理人: 任冠娉
地址: 050051 *** 国省代码: 河北;13
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摘要: 发明提供一种台阶仪的调校方法,包括:选取多种不同预设高度的台阶高度样板;使用待校准的台阶仪测试所有的台阶高度样板,并得到每种台阶高度样板的修正因子;基于每种台阶高度样板的修正因子,确定待校准的台阶仪的最终修正因子;将最终修正因子输入至待校准的台阶仪的测量软件中,即可对待校准的台阶仪进行调校。通过采用待校准的台阶仪测试多个不同高度的台阶高度样板,得到多个修正因子,然后通过多个修正因子得到最终的修正因子,从而保证修正因子的可靠性。
搜索关键词: 台阶 调校 方法
【主权项】:
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