[发明专利]台阶仪的调校方法在审
申请号: | 202210513113.6 | 申请日: | 2022-05-11 |
公开(公告)号: | CN115077446A | 公开(公告)日: | 2022-09-20 |
发明(设计)人: | 韩志国;李锁印;邹学锋;张晓东;赵琳;吴爱华;张家欢 | 申请(专利权)人: | 中国电子科技集团公司第十三研究所 |
主分类号: | G01B21/02 | 分类号: | G01B21/02;G01B21/08 |
代理公司: | 石家庄国为知识产权事务所 13120 | 代理人: | 任冠娉 |
地址: | 050051 *** | 国省代码: | 河北;13 |
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摘要: | 本发明提供一种台阶仪的调校方法,包括:选取多种不同预设高度的台阶高度样板;使用待校准的台阶仪测试所有的台阶高度样板,并得到每种台阶高度样板的修正因子;基于每种台阶高度样板的修正因子,确定待校准的台阶仪的最终修正因子;将最终修正因子输入至待校准的台阶仪的测量软件中,即可对待校准的台阶仪进行调校。通过采用待校准的台阶仪测试多个不同高度的台阶高度样板,得到多个修正因子,然后通过多个修正因子得到最终的修正因子,从而保证修正因子的可靠性。 | ||
搜索关键词: | 台阶 调校 方法 | ||
【主权项】:
暂无信息
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