[发明专利]一种微通道板准直器紫外线点光源检测装置及检测方法在审
申请号: | 202210518268.9 | 申请日: | 2022-05-13 |
公开(公告)号: | CN115014712A | 公开(公告)日: | 2022-09-06 |
发明(设计)人: | 雒涛;徐玉朋;何会林;李茂顺;陈田祥;杨生;张爱梅 | 申请(专利权)人: | 中国科学院高能物理研究所 |
主分类号: | G01M11/02 | 分类号: | G01M11/02;G01M11/04 |
代理公司: | 北京中建联合知识产权代理事务所(普通合伙) 11004 | 代理人: | 王灵灵 |
地址: | 100049 北*** | 国省代码: | 北京;11 |
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摘要: | 本发明公开了一种微通道板准直器紫外线点光源检测装置及检测方法,检测装置包括紫外光源、载物台、准直器和紫外光相机,所述准直器设在载物台上,所述紫外光源和紫外光相机分别设在准直器的前后方,所述紫外光源、准直器和紫外光相机位于同一轴线上。本发明采用点光源进行照射,一次测量即可得出微通道板的测量结果,避免大量多次且长时间的试验操作,并且光源距离近,粒子通量大,单次测量时间短,有效提升检测作业效率;并且用紫外线代替X射线,避免了X射线带来的辐射危险,减少了人员暴露的危险。 | ||
搜索关键词: | 一种 通道 板准直器 紫外线 光源 检测 装置 方法 | ||
【主权项】:
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