[发明专利]一种喷气面积增大的气相沉积炉在审
| 申请号： | 202210540369.6 | 申请日： | 2022-05-17 |
| 公开（公告）号： | CN114855147A | 公开（公告）日： | 2022-08-05 |
| 发明（设计）人： | 张余 | 申请（专利权）人： | 天津得瑞伯机电设备有限公司 |
| 主分类号： | C23C16/455 | 分类号： | C23C16/455 |
| 代理公司： | 北京细软智谷知识产权代理有限责任公司 11471 | 代理人： | 白晓菲 |
| 地址： | 300450 天津市滨海新区*** | 国省代码： | 天津;12 |
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| 摘要： | 本发明提供了一种喷气面积增大的气相沉积炉，涉及化工设备技术领域，该气相沉积炉包括炉体，炉体的内腔设为沉积腔，沉积腔内设气体喷头导管，气体喷头导管与气体导管连通，气体导管置于炉体的外部，气体喷头导管上设有从各个角度向沉积腔喷射的若干个气体扩散喷头，气体扩散喷头与气体喷头导管导通。本发明的气体扩散喷头能够从各个角度向沉积腔喷射气体，可将气体大面积均匀喷出，实现气体与待处理高温材料的充分反应，克服了气体与待处理高温材料反应不均匀导致的材料损坏的缺陷。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 喷气 面积 增大 沉积 | ||
【主权项】：
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C23 对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面化学处理；金属材料的扩散处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆；金属材料腐蚀或积垢的一般抑制
C23C 对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面扩散法，化学转化或置换法的金属材料表面处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆
C23C16-00 通过气态化合物分解且表面材料的反应产物不留存于镀层中的化学镀覆，例如化学气相沉积
C23C16-01 .在临时基体上，例如在随后通过浸蚀除去的基体上
C23C16-02 .待镀材料的预处理
C23C16-04 .局部表面上的镀覆，例如使用掩蔽物的
C23C16-06 .以金属材料的沉积为特征的
C23C16-22 .以沉积金属材料以外之无机材料为特征的
C23C 对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面扩散法，化学转化或置换法的金属材料表面处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆
C23C16-00 通过气态化合物分解且表面材料的反应产物不留存于镀层中的化学镀覆，例如化学气相沉积
C23C16-01 .在临时基体上，例如在随后通过浸蚀除去的基体上
C23C16-02 .待镀材料的预处理
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C23C16-22 .以沉积金属材料以外之无机材料为特征的
