[发明专利]一种提高PCB板曝光均匀性的方法有效

专利信息
申请号: 202210543997.X 申请日: 2022-05-18
公开(公告)号: CN114706281B 公开(公告)日: 2023-09-19
发明(设计)人: 吴鹏;何静安;龙能水;陈定康;盛从学;章恒 申请(专利权)人: 圆周率半导体(南通)有限公司
主分类号: G03F7/20 分类号: G03F7/20
代理公司: 南通苏专博欣知识产权代理事务所(普通合伙) 32574 代理人: 施荣华
地址: 226000 江苏省*** 国省代码: 江苏;32
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摘要: 发明提供一种提高PCB板曝光均匀性的方法,包括以下步骤:获得PCB板的理论厚度值;测量PCB板上每个网格的厚度;将每个网格的差值按照从上到下从左到右顺序导入建模软件组建的数据模型,采用不同颜色进行直观显示;制备掩膜版,包括透光区域和不透光区域,每个掩膜版的透光区域分别与单种颜色对应的区域吻合;逐个采用掩模版对PCB板进行曝光,根据掩膜版对应的不同颜色调整曝光机的焦距,曝光机将透过透光区域的光投射到PCB板上进行图形转移。板厚分布图可以表达出板面跟区域的板厚分布,从而指导曝光时的分区域曝光的焦距调整,使得全板面接收到的曝光能量一致,避免产生局部过曝或曝虚的风险,解决由于曝光能量不一致造成线路开路或去膜不净的问题。
搜索关键词: 一种 提高 pcb 曝光 均匀 方法
【主权项】:
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